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○ 產品介紹
高真空手動擋板閥屬于生產的儀器一般采用手動真空擋板閥與真空系統相連接,主要起到真空泵防回油和CVD系統中控制抽氣速率等作用。高真空手動擋板閥具有安裝方便、操作**可靠、使用壽命長和密封效果好等特點。
手動真空擋板閥的裝卸都采用卡箍,簡單方便,可根據使用者需求任意擺放。
○ 適用范圍
一般采用手動真空擋板閥與真空系統相連接,主要起到真空泵防回油和CVD系統中控制抽氣速率等作用。
○ 技術參數
型號
TN-GD-J(25)B
TN-GD-J(40)B
壓力范圍
PA
1*10E-6Pa~1.2*10E-6Pa(波紋管密封)
公稱通徑
mm
25
40
漏率
Pa·L/s
≤1.3*10E-7
**維修循環次數
次
1000 000(波紋管密封)
600 000(氟膠圈密封)
閥體烘烤溫度
℃
≤120℃
開啟或關閉時間
s
手操時間
閥門位置指數
——
機械指示
安裝位置
——
任意
周圍環境溫度
℃
5~40
注意事項
不用時,請保持真空擋板閥清潔,并放在干燥室內防止強烈震動
安裝前請將閥門和真空接觸的各個表面進行清潔處理
定期檢查,防止受潮、生銹和橡膠件老化
○ 免責聲明
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