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產品詳情

  • 產品名稱：等離子體測試設備

  • 產品型號：TN-PT
  • 產品廠商：泰諾
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
等離子體測試設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的必備儀器。該等離子體測試設備的電感線圈采用水冷設計，外殼另有散熱風扇，保證了整套設備長時間工作的穩定性
詳情介紹：
等離子測試設備主要部件為一個電感耦合的等離子發生器，發生器能夠在電感線圈內部的石英管內產生等離子體，石英管兩側的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實驗現象或者用其他儀器測量相關參數。設備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實驗功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調節等。同時電感線圈采用水冷設計，外殼另有散熱風扇，保證了整套設備長時間工作的穩定性。該設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的必備儀器。

名稱

等離子測試設備

特點

a.觸控屏控制

b.石英管兩側的法蘭配有觀察窗

c.水冷電感線圈,外殼另有散熱風扇

d.電感耦合的等離子發生器

參數

1.供電電壓       AC220V，50Hz

2.*大功率       1KW

3.耦合方式       電感耦合

4.石英腔體       O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

5.觀察窗尺寸    φ30mm

6.真空接口        KF16

7.進氣口接口    6.35mm 卡套接頭

8.質量流量計    Ar標定 量程100sccm

9.真空泵           雙極旋片真空泵

10.極限真空度   0.1Pa

11.冷卻方式      水冷銅管+風冷殼體

12.射頻電源      *大輸出功率300W自動匹配

13.頻率            13.56MHz
規格

整機尺寸    560mm X 620mm X 620mm