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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
高真空迷你cvd實驗室設(shè)備核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達1200℃，高真空迷你cvd實驗室設(shè)備采用溫控表操作，可預設(shè)控溫曲線，一鍵啟停節(jié)約試驗時間。
詳情介紹：
○ 產(chǎn)品介紹
該組CVD設(shè)備為小型化CVD系統(tǒng)，核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計，一臺分子泵組，分別構(gòu)成了CVD的進氣和出氣部分。爐管右側(cè)有數(shù)顯真空計，用以控制爐管內(nèi)部的真空度和氣氛環(huán)境。系統(tǒng)采用PID智能控溫，控溫精度能達到±1℃。
管式爐在操作上采用溫控表操作，可預設(shè)控溫曲線，一鍵啟停，便于使用，能夠簡化實驗操作進而節(jié)約試驗時間。高真空分子泵組可以有效提高本低真空度，提高反應產(chǎn)物的質(zhì)量。
○ 技術(shù)參數(shù)
1200℃迷你管式爐參數(shù)
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| *大功率 | 2KW |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm 恒溫區(qū)長 100mm |
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加熱元件 |
耐熱合金絲 |
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熱電偶 |
K型 |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃ |
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控溫 |
方式AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護，精度+-1℃ |
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爐管 |
高純石英，φ50mm O.D x 450mm L |
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真空系統(tǒng) |
機械泵 抽速1.1L/s ，極限真空 5Pa |
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閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
160SCCM（Air） |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
分子泵組參數(shù)
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型號 |
TN-GZK103-A |
| 分子泵 | 渦輪分子泵 |
| 前級泵 | 雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵：6000L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa |
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極限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復合真空計 |
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