產品型號   

三靶磁控濺射儀（TN-600-3HD）   

安裝條件   

 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。   

1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）   

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地   

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥   

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上   

5、通風裝置：需要   

主要特點   

1、配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據客戶需要任意調換）。   

2、可制備多種薄膜，應用廣泛。   

3、體積小，操作簡便。   

4、整機模塊化設計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計，可根據用戶實際需要調整購買需求。   

5、可根據用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。   

技術參數   

1、電源電壓：220V   50Hz   

2、總功率：2.5KW   

3、極限真空度：<  E-6mbar（配合本公司設備使用可達到 E-5mbar）   

4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據實際需要提升溫度）   

5、靶槍數量：3個   

6、靶槍冷卻方式：水冷   

7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同）   

8、直流濺射功率：500W（可選）   

9、射頻濺射功率：300W/500W（可選）   

10、載樣臺：?140mm   

11、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內可調   

12、保護氣體：Ar、N2等惰性氣體   

13、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣，每個流量為100SCCM   

產品規格   

主機尺寸：500mm×560mm×660mm，整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg   

標準配件   

1   

直流電源控制系統   

2套   

2   

射頻電源控制系統   

1套   

3   

膜厚監測儀系統   

1套   

4   

600分子泵組

1臺   

5   

工業級水冷機   

1臺   

6   

冷卻水管（?6mm）   

4根   

可選配件   

金、銦、銀、白金等各種靶材