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產品詳情

  • 產品名稱：雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎版）

  • 產品型號：TN-PSP180G-2TA
  • 產品廠商：泰諾
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎版）我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備，具有結構緊湊，簡單易用。雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎版）的濺射靶為2英寸的標準尺寸，標準配置2個濺射靶頭，以滿足客戶鍍不同膜的實驗需求。
詳情介紹：
TN-PSP180G-2TA 雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎版）我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備，具有結構緊湊，簡單易用，集成度高，設計感強的優勢。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸，標準配置2個濺射靶頭，以滿足客戶鍍不同膜的實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源，可用于金屬濺射鍍膜，尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產品名稱
雙靶等離子濺射鍍膜儀-基礎版
產品型號
TN-PSP180G-2TA
主要特點
  • 自主研發、高性價比
  • 具有結構緊湊，簡單操作
  • 兩只2英寸標準尺寸等離子濺射靶，
  • 150W直流高壓電源，金屬濺射鍍膜
技術參數
  1. 1、樣品臺：尺寸φ100mm；到靶面的距離20~35mm可調
  2. 2、直流濺射頭：數量2” ×2  
  3. 3、真空腔體：尺寸：φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空系統：雙極旋片真空泵 ；抽氣速率：旋片泵：1.1L/S；極限真空：≥0.1Pa
    抽氣/排氣接口：KF16； 真空測量：電阻規；
  5. 5、濺射電源配置：直流電源 ×1；  max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產品規格
尺寸：500mm ×320mm × 470mm；重量：30kg；供電電壓：AC220V,50Hz；功率1500W

1.鍍膜儀配有通氣接口，可通入保護性氣體，若客戶需要通入混合氣體，聯系工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

2.本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵，其具有體積小，抽真空快，操作簡單的優勢，若客戶有進一步提升真空度的需要，聯系技術人員選配分子泵組組成高真空系統。


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