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○ 產品介紹
加熱型勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟(塑料王)材質,它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物,具有優良的化學穩定性和極強的耐腐蝕性,已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。加熱型勻膠機內安裝有真空數字傳感器,涂敷過程中可實時檢測系統真空度,控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障:可靠吸片并杜絕飛片事故的發生。
○ 適用范圍
主要利用離心涂覆原理將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。
○ 產品特點
1、可對涂層表面進行恒溫加熱,加熱范圍:室溫~200℃,控溫精度0.1℃。
2、可以用于勻膠涂覆有機物,進行薄膜制備。
3、可以先進行勻膠,然后進行烤膠。
4、可存儲多種不同基片的旋轉涂敷工藝參數。每個涂敷工藝流程可以設置多步不同的旋轉速度。
5、勻膠機內安裝有真空數字傳感器,涂敷過程中可實時檢測系統真空度,控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障:可靠吸片并杜絕飛片事故的發生。
6、操作系統有中、英文相互切換供您選擇。
7、工作腔體為 聚四氟(塑料王)材質,它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物,具有優良的化學穩定性和極強的耐腐蝕性,已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。
○ 技術參數
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
基片尺寸:8英寸
可選擇配置: 基片直徑10—200mm可接受訂貨。
主機轉數:0~10000 轉/分。
設定時間:1---9999秒。
加熱溫度:室溫~200℃
結構尺寸: 300mm寬 x 300mm深 x 200 mm高 ,
可選配件:
1、CY-2Z真空泵
2、真空吸盤尺寸:直徑10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盤。
○ 免責聲明
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